効果的なスプレーノズルの選定をアドバイス

効果的なスプレーノズルの選定をアドバイス

最終的な改良結果は基盤製品で判断する必要がありますが、ノズルメーカーの協力が得られれば、実験室でデーターを取りながら的確なスプレーノズル選定ができます。先ず現像液と水との粘度や密度に大きな違いがなければ、ノズルメーカーで水による種々の実験を行うことができます。例えば、現状のノズル配置で流量分布を測定し、その結果からさらに均等性の高いスプレーノズル選定と配置の見直しをします。さらにスプレーの衝突力分布を測定し、衝突効果の比較もできます。仮に現状と同一流量で粒子径を変えたい場合は、ノズルタイプや圧力を変えてPDPA（レーザードップラー）装置を使って粒子径の測定をすれば的確な比較データが得られます。このようにいろいろな測定手段を駆使した実験データから、より効果的なスプレーノズル選定ができます。